近日,合肥高新集團投資企業合肥御微半導體技術有限公司(以下簡稱“御微半導體”)晶圓缺陷檢測設備首次發往中芯京城集成電路制造(北京)有限公司(以下簡稱“中芯京城”)。本次發運的i12-F200晶圓缺陷檢測設備,主要用于12英寸晶圓生產線上常見的缺陷檢測,具備高效率、高檢出率、智能性、全面性、工廠自動化的產品特性,能有效識別硅片細微缺陷,提高缺陷檢出率。
中芯京城是中芯國際控股子公司,專注于生產12寸集成電路晶圓及集成電路封裝系列等。中芯國際是世界領先的集成電路晶圓代工企業之一,也是中國大陸集成電路制造業領導者,擁有領先的工藝制造能力、產能優勢、服務配套,向全球客戶提供0.35微米到14納米不同技術節點的晶圓代工與技術服務。
御微半導體總部于2021年7月正式落戶合肥高新區,2022年1月正式投產,以集成電路量檢測設備為主營業務,公司始終全力推進在集成電路制造、先進封裝、化合物半導體、新型顯示等領域的超高精度量檢測關鍵技術研發,助力中國半導體量檢測領域相關核心技術自主可控。
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